高性能塑料在半导体行业扮演着至关重要的角色。制造半导体是一个复杂的过程。首先是硅片和一个叫做晶圆厂的自给自足的生产设施,建造成本可能高达几十亿美元。晶圆厂的中心部分是洁净室。

洁净室内的灰尘得到了严格控制。即使是最小的风道颗粒也比微电路大,可能会损坏集成电路。此外,为了减少静电,设备被抑制振动,温度和湿度也得到了精心的维护。

集成电路的制造过程包括光刻、蚀刻、清洗、薄膜沉积和抛光等。它需要270种化学物质和气体1制造集成电路。其中许多是极具腐蚀性的:硝酸、盐酸和氢氟酸,以及臭氧等等。金属暴露在这些化学物质中时会被腐蚀,产生不可接受的颗粒物水平和设备故障....但有一些高性能塑料在这些极端条件下表现得非常好。

以下是前十名的名单高性能塑料的性能标准在半导体行业:

1.优良的耐化学性性能,避免腐蚀。

2.低颗粒生成,产品收率高。

3.在真空环境中,低排气和低吸湿特性。

4.高温性能。

5.电气绝缘性能好,介电常数低。

6.尺寸稳定性,零件寿命长,抗蠕变。

7.低金属离子含量,因此低水平的可提取的高纯化学品。

8.良好的可加工性。

9.阻燃剂。

10.导热系数低。

那么,这些高性能塑料是如何使用的呢?首先,你必须了解半导体加工设备有很多种类型。高性能塑料在半导体制造的各个阶段都很重要,但在湿工作台中可能最为重要。这些机器进行湿化学过程,如酸蚀刻,以及化学漂洗和干燥。湿工作台可以最大限度地提高工艺纯度,并最大限度地减少干燥过程中化学物质携带或污染的威胁。

在youtube上观看这个湿板凳的视频!


高性能塑料广泛应用于这类设备中,塑料等PVDF (poly-vinylidene二氟化物)2(聚丙烯);聚四氟乙烯(polytetrafluroethylene);FEP(氟化乙烯丙烯;PFA (perfluoroalkoxy);氯化聚氯乙烯;ECTFE(氯乙烯、三氟乙烯)和PCTFE (polychlorotrifluoroethylene)是比较常见的。这些高性能塑料被用于制造罐、配件、螺丝、垫圈、垫片、垫片、外壳、垫片、硅片托盘、手柄、铰链、板材、管材和泵。它们具有高度的耐化学物质性,并能经受极端环境的考验。

如果没有高性能塑料,我们的笔记本电脑、手机和宽屏电视,甚至信息时代本身,都可能不存在。

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1根据半导体工业用化学品和气体手册由威利出版。

2均聚物

请稍后继续关注更具体地关注半导体行业中使用的高性能塑料,并包括属性数据!

寻找更多关于高性能塑料耐化学性的信息?查看我们的材料指南!

4 .对“半导体工业中的高性能塑料

  1. 感谢他解释说,晶圆厂是半导体生产过程中必不可少的独立生产设施。有趣的是,塑料是我们日常生活中使用的东西,但它也有复杂的工业和科学应用。很高兴我读了你的文章,因为了解塑料和半导体之间的关系很有趣。

    1. 感谢阅读Craftech Industries的帖子。实际上,我们为一些半球形工业的客户提供耐化学腐蚀的塑料零件。

  2. 有趣的是高性能塑料具有电气绝缘性能,这解释了为什么我们把它们用作晶圆片。我想我会使用晶圆调整尺寸和取芯服务,以避免灰尘在我们的工厂逗留。这样,我们就可以毫无问题地建造我们的电路。

    1. 您好Angela -感谢您阅读工艺工业博客。我们为半球形工业提供紧固件,这些紧固件也依赖于坚固和耐化学腐蚀。

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